Dette instrument anvender berøringsfri, optisk faseskiftende interferometrisk målemetode, beskadiger ikke overfladen af emnet under måling, kan hurtigt måle den tredimensionelle grafik af overfladens mikrotopografi af forskellige emner og analysere og beregne målingen resultater.
Produktbeskrivelse
Egenskaber: Velegnet til måling af overfladeruheden af forskellige måleblokke og optiske dele; dybden af linealens og urskivens trådkors; tykkelsen af belægningen af gitterrillestrukturen og strukturmorfologien af belægningsgrænsen; overfladen af den magnetiske (optiske) disk og magnethovedet Strukturmåling; silicium wafer overfladeruhed og mønsterstrukturmåling mv.
På grund af instrumentets høje målenøjagtighed har det karakteristika for berøringsfri og tredimensionel måling og vedtager computerstyring og hurtig analyse og beregning af måleresultater. Dette instrument er velegnet til alle niveauer af test- og måleforskningsenheder, industri- og minevirksomhedsmålingsrum, præcisionsbehandlingsværksteder og også velegnet til institutioner for videregående uddannelse og videnskabelige forskningsinstitutioner osv.
De vigtigste tekniske parametre
Måleområde for overflademikroskopiske ujævnheder dybde
På en kontinuerlig overflade, når der ikke er nogen pludselig højdeændring større end 1/4 bølgelængde mellem to tilstødende pixels: 1000-1nm
Når der er en højdemutation større end 1/4 af bølgelængden mellem to tilstødende pixels: 130-1nm
Gentagelighed af måling: δRa ≤0,5 nm
Objektiv linseforstørrelse: 40X
Numerisk blænde: Φ 65
Arbejdsafstand: 0,5 mm
Instrumentets synsfelt Visuelt: Φ0,25 mm
Foto: 0,13×0,13 mm
Instrumentforstørrelse Visuelt: 500×
Fotografi (observeret af computerskærm)-2500×
Modtagermålearray: 1000X1000
Pixelstørrelse: 5,2×5,2µm
Måletid prøveudtagning (scanning) tid: 1S
Instrument standard spejlreflektivitet (høj): ~50 %
Refleksion (lav): ~4 %
Lyskilde: glødelampe 6V 5W
Grønt interferensfilter bølgelængde: λ≒530nm
Halv bredde λ≒10nm
Hovedmikroskopløft: 110 mm
Bordløft: 5 mm
Bevægelsesområde i X- og Y-retning: ~10 mm
Arbejdsbordets rotationsområde: 360°
Arbejdsbordets hældningsområde: ±6°
Computersystem: P4, 2,8G eller mere, 17-tommer fladskærm med 1G eller mere hukommelse